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    MASTER-18微波消解儀:微波消解半導體薄膜材料
    2021-10-19
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    1前言

    半導體膜是指由半導體材料形成的薄膜。隨著制備半導體薄膜的技術不同,在結構上可分為單晶,多晶和無定形薄膜。半導體材料是微電子和光電子器件的主要材料,特別是大規模集成電路芯片上元件的集成度越來越高,元件的尺寸越來越小,半導體薄膜是構成這類器件的基本材料 。我們選擇一種半導體薄膜材料,探索最適合的消解參數,有利于后續對多種無機元素的快速準確測定。

    2儀器與試劑

    2.1 儀器


    新儀MASTER-18微波消解儀,趕酸器,分析天平(十萬分之一)。

    2.2 試劑

    硝酸(68%),氫氟酸(40%

    3實驗方法

    精確稱取半導體薄膜材料50mg(精確至0.1mg,緩慢滴加8mL硝酸(劇烈反應,釋放氣體),靜置10min左右,待無明顯反應后,補加2mL氫氟酸,組裝消解罐,按照如下設置參數進行實驗:


    實驗結束后,待冷卻至60℃以下,取出消解罐轉移至通風櫥中緩慢打開,趕酸稀釋后,樣品可完全消解至澄清透明狀態。

    4結果

    實驗選取的半導體薄膜材料樣品,取樣為50mg,加入硝酸靜置后,補加氫氟酸,最高實驗溫度210℃,保溫40min左右,樣品可完全消解。

    5注意

    1)添加氫氟酸進行實驗后,需進行趕酸處理,防止氫氟酸對玻璃器皿造成腐蝕,也可能會對實驗結果造成影響。

    2)添加硝酸后樣品反應劇烈,實驗過程中應緩慢加入或者分多次加入硝酸,同時實驗人員需做好防護。

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